声波除尘器作为烟气处理领域的重要设备走过了100多年的发展历程，其除尘机理与清灰机理及方式发生了巨大的变化，了解其发展史对于我们目前的研究有着重要的借鉴及启示作用。

声波除尘器的产生和发展

声波清灰开始是在19世纪80年代在工业生产中应用，1880在德国实验厂的机械振打式的滤声器专利；逆气流清洗方法1930出现在工业实践；1954个年轻的工程师开发的“逆喷式喷吹清灰技术”，达到防尘、声波清灰连续操作，不但大大提高了烟气速度和保证压力稳定，滤袋；脉冲波滤波器在1957后的发明被认为是声波除尘技术发展史上的一个重要里程碑，它不仅可以实现连续操作和清洗，确保袋压差往往稳定，烟气率高，更重要的是内部没有移动部件。因此，滤布使用寿命长，结构简单。

自上世纪70年代以来，声波除尘技术已向大型化和自动化发展。欧洲和美国的工业的迅速发展意味着发展大型声波除尘器应用于火电、水泥回转窑的窑和电炉除尘等领域，并大声滤波器单过滤面积超过12000平方米的介绍。然而，ESP的使用仍然很大，而约30%的市场份额，声波除尘器的占有率相当高。到目前为止，发达国家已基本完成了用声波除尘器替代或改造静电除尘器和其他除尘器的过程。

上世纪60年代中期，我国成功研制出第一台低频声波除尘器，并开始研制声波除尘器。在声尘20世纪80年代初开始应用于火电燃煤发电厂，因为煤炭环保火电厂烟气排放是不需要的，再加上声波除尘器落后，理解和声学滤波器操作经验的整体技术水平，出现了“糊袋”、“烧袋”、“清洁”、“漏”等故障，导致声波清灰的发展停滞。90后国内基本上不再有电厂利用声波除尘器除尘设备，严重阻碍了大型脉冲滤波器的应用与国内的进一步发展，直到近十年的大脉冲滤波器又开始发展的，这是因为声波除尘技术和新材料的不断涌现，声表面波滤波器除尘器广泛应用于工业粉尘排放控制领域。含尘气体在声波振动下，引起尘粒共振,尘粒相互碰撞,然后凝聚。然后开始使用了江苏凤谷节能科技的声波除尘器由声波发生源、凝聚塔、集尘器等组成（图10），又常与离心力除尘器串联使用。声波源位于凝聚塔上部，在凝聚塔内产生强度约150分贝的声波,使尘粒发生碰撞而凝聚起来。尘粒在有效高度10～20米的塔内，滞留几秒至十几秒后,由集尘器捕集。声波除尘器可处理粒径0.1～100微米的尘粒，压力损失为60～100毫米水柱，除尘效率为80～95％。其特点是适应性大，能处理高温和高浓度的含尘气体，也能在湿式状态下使用，但有噪声。